表面弾性波フィルター

表面弾性波フィルター(ひょうめんだんせいはフィルター、: surface acoustic wave filterSAWフィルター)とは、圧電体の薄膜、もしくは基板上に形成された規則性のあるくし型電極(IDT)により、特定の周波数帯域の電気信号を取り出す素子のことである。くし型電極(IDT)の構造周期と圧電体や電極の物性により、中心周波数や帯域を決めることができる。

VHF / UHF 用の表面弾性波フィルター。
典型的な表面弾性波フィルターの模式図。


特性

一般に数十メガヘルツ以上の高周波を対象にしたフィルターであり、現在(2005年[1])のところ、数ギガヘルツまでの周波数帯を取り出すことができる。

一般に、基板側が圧電体である。

SAWフィルタに使われる圧電体としては、水晶のほか、タンタル酸リチウム(LiTaO3 )やニオブ酸リチウム(LiNbO3)などのリチウム化合物がよく用いられているという。

製造の際には、微細電極などの微細部があるため、半導体製造のようにフォトリソグラフィーが用いられ、クリーンルームで製造されるという。

脚注

  1. 『トランジスタ技術SPECIAL 電子回路部品活用マニュアル第1集』、CQ出版社、2005年7月1日 発行

外部リンク

参考文献


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